反應燒結碳化硅陶瓷懸臂槳

產品概要： 懸臂槳，是半導體晶圓裝載系統(tǒng)的關鍵部件。KCE?系列反應燒結碳化硅陶瓷懸臂槳性能穩(wěn)定，在高溫環(huán)境不變形，晶圓裝載量大，適用于機器人自動裝載和搬運系統(tǒng)，且其截面穩(wěn)定不變形，使得利用現有的爐管制備更大規(guī)格晶圓成為可能。加之與LPCVD涂層的熱膨脹系數相近，應用于LPCVD，可極大地延長維護清洗周期，并大幅減少污染物。